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硅基单片集成激光器及其制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN106953234A, 申请日期: 2017-07-14, 公开日期: 2017-07-14
发明人:  仇超;  龚谦;  武爱民;  高腾;  盛振;  甘甫烷;  赵颖璇;  李军
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