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一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109873296A, 申请日期: 2019-06-11, 公开日期: 2019-06-11
发明人:  刘凯;  罗俊伟;  位祺;  黄永清;  段晓峰;  王琦;  任晓敏;  蔡世伟
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