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集成谐振光栅微腔的悬空GaN薄膜激光器及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN108233181A, 申请日期: 2018-06-29, 公开日期: 2018-06-29
发明人:  施政;  王永进;  张帅;  蒋元;  王帅
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