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加工微/纳米级结构的装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN2818016Y, 申请日期: 2006-09-20, 公开日期: 2006-09-20
发明人:  白晓丹;  刘静
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加工微/纳米级结构的装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN2818016Y, 申请日期: 2006-09-20, 公开日期: 2006-09-20
发明人:  白晓丹;  刘静
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一种微/纳米级结构的加工装置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1796266A, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2006-07-05
发明人:  白晓丹;  刘静
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