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Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator and method of making same 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0261972A2, 申请日期: 1988-03-30, 公开日期: 1988-03-30
发明人:  ZDEBLICK, MARK
Adobe PDF(4270Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2019/12/30
Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator and method of making same 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0261972A2, 申请日期: 1988-03-30, 公开日期: 1988-03-30
发明人:  ZDEBLICK, MARK
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