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一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN105091780A, 申请日期: 2015-11-25, 公开日期: 2015-11-25
发明人:  王波;  吴东旭;  张鹏;  乔政;  王会茗
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