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一种多物理场耦合作用下反射镜光学表面误差的获取方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN202010047365.5, 申请日期: 2020-10-30,
发明人:  吕涛;  阮萍;  段晶;  刘凯;  邱鹏
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