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Hybrid beam deposition system and methods for fabricating metal oxide-ZnO films, p-type ZnO films, and ZnO-based II-VI compound semiconductor devices 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US7824955, 申请日期: 2010-11-02, 公开日期: 2010-11-02
发明人:  WHITE, HENRY W.;  RYU, YUNGRYEL;  LEE, TAE-SEOK
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