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Integrated semiconductor optical waveguide device and fabrication methode 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0696747A2, 申请日期: 1996-02-14, 公开日期: 1996-02-14
发明人:  KIMURA, TATSUYA, C/O MITSUBISHI DENKI K.K;  SHIGIHARA, KIMIO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K;  TAKEMOTO, AKIRA, C/O MITSUBISHI DENKI K.K;  MITSUI, SHIGERU, C/O MITSUBISHI DENKI K.K
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