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Integrated optical micro-electromechanical systems and methods of fabricating and operating the same 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: US20020105699A1, 申请日期: 2002-08-08, 公开日期: 2002-08-08
发明人:  MIRACKY, ROBERT F.;  REED, JASON D.;  HU, KAI;  HILBERT, CLAUDE
收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2019/12/30
Integrated optical micro-electromechanical systems and methods of fabricating and operating the same 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: US20020105699A1, 申请日期: 2002-08-08, 公开日期: 2002-08-08
发明人:  MIRACKY, ROBERT F.;  REED, JASON D.;  HU, KAI;  HILBERT, CLAUDE
收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2019/12/30