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Methods for photo-excitation of precursors in epitaxial processes using a rotary scanning unit 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US9499909, 申请日期: 2016-11-22, 公开日期: 2016-11-22
发明人:  MOFFATT, STEPHEN
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Apparatus and methods for pulsed photo-excited deposition and etch 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US9123527, 申请日期: 2015-09-01, 公开日期: 2015-09-01
发明人:  MOFFATT, STEPHEN
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