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Micro benchtop optics by bulk silicon micromachining 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US6071426, 申请日期: 2000-06-06, 公开日期: 2000-06-06
发明人:  LEE, ABRAHAM P.;  POCHA, MICHAEL D.;  MCCONAGHY, CHARLES F.;  DERI, ROBERT J.
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