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Method and apparatus for deposition of antireflection coatings and control of their thickness 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0466598A1, 申请日期: 1992-01-15, 公开日期: 1992-01-15
发明人:  LANDREAU, JEAN;  NAKAJIMA, HISAO
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Method to control the thickness of an antireflection coating and implementation installation 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US5024853, 申请日期: 1991-06-18, 公开日期: 1991-06-18
发明人:  LANDREAU, JEAN;  NAKAJIMA, HISAO
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