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Microchip and SOI substrate for manufacturing microchip 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: US20120228730A1, 申请日期: 2012-09-13, 公开日期: 2012-09-13
发明人:  AKIYAMA, SHOJI;  KUBOTA, YOSHIHIRO;  ITO, ATSUO;  TANAKA, KOICHI;  KAWAI, MAKOTO;  TOBISAKA, YUUJI
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