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Semiconductor element and manufacturing method thereof 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US7998766, 申请日期: 2011-08-16, 公开日期: 2011-08-16
发明人:  SAKUMA, YASUSHI;  NAKAI, DAISUKE;  HAYAKAWA, SHIGENORI;  KOMATSU, KAZUHIRO
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