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Method of doping with beryllium and method of fabricating semiconductor optical element doped with beryllium 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US5814534, 申请日期: 1998-09-29, 公开日期: 1998-09-29
发明人:  KIMURA, TATSUYA;  ISHIDA, TAKAO
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