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基于键合技术的集成光学干涉仪 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN1194206C, 申请日期: 2005-03-23, 公开日期: 2005-03-23
发明人:  李以贵;  宋康;  陈水良;  宓晓宇
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