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低压、气动旋转衬底座XG2-1型MOCVD装置 成果
省部自然科学奖, 2004
主要完成人:  高鸿楷;  何益民;  徐瞬;  郭银其;  赛小锋
收藏  |  浏览/下载：724/0  |  提交时间：2012/06/27
Mocvd 气动旋转衬底座  
制作小尺寸微通道板的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN93118724.9, 申请日期: 1994-07-13, 公开日期: 1994-07-13
发明人:  郭银其
Adobe PDF(160Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/0  |  提交时间：2011/10/09