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一种基于BCB键合工艺的混合集成激光器及其制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN102904159A, 申请日期: 2013-01-30, 公开日期: 2013-01-30
发明人:  盛振;  王智琪;  甘甫烷;  武爱民;  王曦;  邹世昌
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