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中国科学院西安光学精密机械研究所机构知识库
Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
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激光模块
专利
专利类型: 授权发明, 授权发明, 授权发明, 授权发明, 专利号: CN100523897C, CN100523897C, CN100523897C, CN100523897C, 申请日期: 2009-08-05, 2009-08-05, 2009-08-05, 2009-08-05, 公开日期: 2009-08-05, 2009-08-05, 2009-08-05, 2009-08-05
发明人:
蔵町照彦
;
山中英生
;
永野和彦
;
冈崎洋二
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提交时间:2019/12/24
曝光头及曝光装置和它的应用
专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1659479A, 申请日期: 2005-08-24, 公开日期: 2005-08-24
发明人:
石川弘美
;
永野和彦
;
冈崎洋二
;
藤井武
;
山川博充
Adobe PDF(5552Kb)
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提交时间:2020/01/18
雷射模組
专利
专利类型: 发明申请, 专利号: TW200516817A, 申请日期: 2005-05-16, 公开日期: 2005-05-16
发明人:
藏町照彥
;
山中英生
;
永野和彥
Adobe PDF(2414Kb)
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提交时间:2019/12/30
复合波激光光源及曝光装置
专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1523450A, 申请日期: 2004-08-25, 公开日期: 2004-08-25
发明人:
冈崎洋二
;
永野和彦
;
蔵町照彦
Adobe PDF(2032Kb)
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提交时间:2020/01/18
激光退火装置和激光薄膜形成装置
专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1467802A, 申请日期: 2004-01-14, 公开日期: 2004-01-14
发明人:
石川弘美
;
原田明宪
;
藤井武
;
冈崎洋二
;
永野和彦
;
山川博充
;
山中英生
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提交时间:2019/12/31