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双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201173895Y, 申请日期: 2008-12-31, 公开日期: 2008-12-31
发明人:  朱冠超;  方明;  申雁鸣;  易葵
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双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101251472A, 申请日期: 2008-08-27, 公开日期: 2008-08-27
发明人:  朱冠超;  方明;  申雁鸣;  易葵
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