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第13族氮化物晶体、所述晶体衬底及所述晶体制备方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN103668460B, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2016-09-21
发明人:  林昌弘;  佐藤隆;  木村千春;  三好直哉;  村上明繁;  三宅信辅;  和田纯一;  皿山正二
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