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低圧MOCVDを用いたエピタキシャル膜成長法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: JP2870084B2, 申请日期: 1999-01-08, 公开日期: 1999-03-10
发明人:  エリック·エス·ジョンソン
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