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原子层沉积制备W掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN108588679A, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
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原子层沉积制备Mo掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN108588680A, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
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原子层沉积制备W掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201810489471.1, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
Adobe PDF(1357Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：163/0  |  提交时间：2018/12/29
原子层沉积制备Mo掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201810489472.6, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏;  许彦涛;  张文松
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变压器绕组光纤温控仪接线盒 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201610029891.2, 申请日期: 2016-01-15, 公开日期: 2016-06-08
发明人:  陆云才;  张文松;  聂德鑫;  程林;  皮本熙;  朱香平;  樊维涛
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光纤温度传感器用荧光粉的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201610029892.7, 申请日期: 2016-01-15, 公开日期: 2016-05-11
发明人:  张文松;  聂德鑫;  陆云才;  程林;  皮本熙;  樊维涛;  赵洪波
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