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制备高选择比量子级联激光器脊波导结构的湿法腐蚀方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN104882788B, 申请日期: 2018-03-30, 公开日期: 2018-03-30
发明人:  梁平;  刘峰奇;  张锦川;  闫方亮;  胡颖;  王利军;  刘俊岐;  王占国
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