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基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN103743390B, 申请日期: 2016-08-17, 公开日期: 2016-08-17
发明人:  房建成;  张宁;  张晨;  袁珩
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