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耦合波导、其制作方法及应用其的半导体光电子器件 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN102419460B, 申请日期: 2014-09-03, 公开日期: 2014-09-03
发明人:  熊兵;  朱军浩;  赵湘楠;  孙长征;  罗毅
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