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单面金属波导太赫兹量子级联激光器的制作方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN101345393B, 申请日期: 2010-10-06, 公开日期: 2010-10-06
发明人:  曹俊诚;  黎华;  韩英军
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