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Multi-level closed loop resonators and method for fabricating same 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US6639930, 申请日期: 2003-10-28, 公开日期: 2003-10-28
发明人:  GRIFFEL, GIORA;  MENNA, RAYMOND J.;  ABELES, JOSEPH H.;  CONNOLLY, JOHN C.
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