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MBE System and semiconductor device fabricated using same 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0702101A3, 申请日期: 1996-09-18, 公开日期: 1996-09-18
发明人:  TAMAMURA, KOSHI, C/O SONY CORP.;  TSUKAMOTO, HIRONORI, C/O SONY CORP.;  IKEDA, MASAO, C/O SONY CORP.
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