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原子层沉积制备氧化镓薄膜及其光学性能研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2023
作者:  李存钰
Adobe PDF(9189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2023/07/27
Ga2O3 薄膜  原子层沉积  Ti 掺杂Ga2O3 薄膜  折射率  光学带隙