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Method and apparatus for diffusing zinc into groups III-V compound semiconductors crystals 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0977247A2, 申请日期: 2000-02-02, 公开日期: 2000-02-02
发明人:  IGUCHI, YASUHIRO, C/O OSAKA WORKS OF SUMITOMO ELEC;  SOWA, SOSUKE, C/O OSAKA WORKS OF SUMITOMO ELEC
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