飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究

doi:10.3788/CJL230834

	飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究
其他题名	Femtosecond Time⁃Resolved Electronic States in Femtosecond Laser Multipulse Ablation
	王谦豪 1,2; 赵华龙 1; 杨小君1 ; 温文龙 1; 李益 1,2
作者部门	空间光子信息新技术研究室
	2023-12
发表期刊	中国激光
ISSN	02587025
卷号	50 期号:24
产权排序	1
摘要	为研究飞秒激光加工硬脆透明材料时存在的“微裂纹”与“诱导条纹”等共性工艺问题，利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术，对飞秒激光多脉冲烧蚀石英玻璃过程中的电子动力学过程进行成像，分析了激光脉冲电离材料初期（700 fs之前）等离子体丝的演化情况。多脉冲诱导微结构的存在使成丝区域分布在微结构的两侧与光脉冲传播的轴线方向，前者主要是由微结构侧壁对光脉冲的折射造成的，而后者则是由微结构底面与侧壁形貌不同导致的光程差引起的。实验结果揭示了多脉冲加工过程中脉冲串诱导微结构对后续光场的重塑效应，该效应影响了等离子体成丝区域与能量沉积的分布，这是共性工艺问题产生的核心机制。
关键词	激光技术飞秒激光微加工泵浦探测阴影成像多脉冲烧蚀等离子体
DOI	10.3788/CJL230834
收录类别	EI
语种	中文
EI入藏号	20235115228548
引用统计
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/97070
专题	光子制造系统与应用研究中心
通讯作者	赵华龙
作者单位	1.中国科学院西安光学精密机械研究所光子制造系统与应用研究中心 2.中国科学院大学
第一作者单位	光子制造系统与应用研究中心
通讯作者单位	光子制造系统与应用研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	王谦豪,赵华龙,杨小君,等. 飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究[J]. 中国激光,2023,50(24).
APA	王谦豪,赵华龙,杨小君,温文龙,&李益.(2023).飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究.中国激光,50(24).
MLA	王谦豪,et al."飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究".中国激光 50.24(2023).

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飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞...时间分辨（1706KB）	期刊论文	作者接受稿	限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文