| Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置 |
| 贾昕胤 ; 孙剑; 郝雄波; 张智南; 李思远; 刘学斌
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| 2021-01-15
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 实用新型
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本实用新型提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板；右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧；Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面，且其抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间；垂直安装板安装在水平安装板的后侧，且其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔；离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧，且其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽；垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装。 |
| 专利号 | CN202020439382.9
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 公开（公告）号 | CN212351342U
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| IPC 分类号 | B24B13/00
; B24B1/00
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/97005
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| 专题 | 光谱成像技术研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
贾昕胤,孙剑,郝雄波,等. Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置. CN202020439382.9[P]. 2021-01-15.
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