| 一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置 |
| 王贞福 ; 李特
|
| 2021-07-27
|
| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
|
| 授权国家 | 中国
|
| 专利类型 | 实用新型
|
| 产权排序 | 1
|
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置，解决了现有固定装置易损伤芯片或固定不可靠的问题，并支持完整全面地检验巴条芯片。该装置包括固定基座，所述固定基座具有台阶；台阶顶面设置有多个第一限位平底凹槽，用于平放容纳巴条芯片并限制巴条芯片在放置平面偏转；所述第一限位平底凹槽的底面设置有至少一个吸附孔；台阶竖立面设置有多个第二限位平底凹槽，用于竖放容纳巴条芯片使巴条芯片腔面朝上，并限制巴条芯片在放置平面偏转，所述第二限位平底凹槽与台阶顶面相接形成相应的缺口，第二限位平底凹槽的底面设置有至少两个吸附孔；所述固定基座的内部分别设置有两路真空通道、侧面相应设置有两处真空通道接口。 |
| 专利号 | CN202021618351.6
|
| 语种 | 中文
|
| 专利状态 | 授权
|
| 公开（公告）号 | CN213813315U
|
| IPC 分类号 | G01N21/95
; G01N21/01
|
| 文献类型 | 专利
|
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96987
|
| 专题 | 瞬态光学研究室
|
推荐引用方式
GB/T 7714 |
王贞福,李特. 一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置. CN202021618351.6[P]. 2021-07-27.
|
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论