| 一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具 |
| 郝雄波; 孙剑; 贾昕胤 ; 刘学斌; 邹纯博; 李勇; 畅晨光; 韩亚娟
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| 2021-03-19
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 实用新型
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本实用新型提供一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，解决现有Sagnac型干涉仪组件存在制作周期长、成本高以及使用时存在调制度降低的问题。该镀膜夹具包括干涉仪固定组件、镀膜窗口组件和上保护罩；干涉仪固定组件中，夹具法兰盘的端面设置有溅射孔；楔块相对的设置在溅射孔内，且其外侧面上设置有第一限位孔；抵紧块设置在夹具法兰盘的上端面，且其外侧面上设置有第二限位孔；调节支座均固定设置在夹具法兰盘上端面，调节螺杆一端伸入第一限位孔和第二限位孔内，另一端穿过设置在调节支座上的螺纹孔，与调节支座螺纹连接；镀膜窗口组件包括四个窗口刃片，四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔内；上保护罩设置在夹具法兰盘的上端面。 |
| 专利号 | CN202021763531.3
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 公开（公告）号 | CN212741519U
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| IPC 分类号 | C23C14/04
; C23C14/50
; C23C14/54
; C23C14/24
; C23C14/34
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96911
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| 专题 | 光谱成像技术研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
郝雄波,孙剑,贾昕胤,等. 一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具. CN202021763531.3[P]. 2021-03-19.
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