| 融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工 | |
| 其他题名 | High-quality Subwavelength Grating Structures Fabrication on Fused Silica Surfaces by Femtosecond Laser |
刘洋1,2,3; 朱香平1,2,3 ; 靳川1,2,3; 张笑墨1,2,3; 赵卫1,2,3
| |
| 作者部门 | 瞬态光学研究室 |
| 2023-07-25 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| ISSN | 1004-4213 |
| 卷号 | 52期号:7 |
| 产权排序 | 1 |
| 摘要 | 采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构，研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明，飞秒激光在融石英表面可以诱导出周期性的亚波长结构，主要以垂直于激光偏振方向的光栅状结构为主，其周期在百纳米量级且具有更好的可复现性。在激光光斑控制在1 μm附近时，所得到的形貌具有较高的规则性。根据实验结果设计了聚焦高斯光斑低通量的加工方式。所制备的光栅结构具有200~300 nm的周期，平均深度约为300 nm。 |
| 关键词 | 飞秒激光加工 表面形貌 亚波长结构 融石英 周期性结构 |
| DOI | 10.3788/gzxb20235207.0752307 |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:7549386 |
| EI入藏号 | 20233714721494 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96775 |
| 专题 | 瞬态光学研究室 |
| 通讯作者 | 赵卫 |
| 作者单位 | 1.中国科学院西安光学精密机械研究所，西安 710119 2.瞬态光学与光子技术国家重点实验室，西安 710119 3.中国科学院大学，北京 100049 |
| 第一作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 通讯作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘洋,朱香平,靳川,等. 融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工[J]. 光子学报,2023,52(7). |
| APA | 刘洋,朱香平,靳川,张笑墨,&赵卫.(2023).融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工.光子学报,52(7). |
| MLA | 刘洋,et al."融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工".光子学报 52.7(2023). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光（4536KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | |
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