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硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备
其他题名Theoretical Simulation and Preparation of Anti-reflection Characteristics of Zinc Sulfide Surface Microstructure
罗兴1,2; 李明1,2; 毛建勇3
作者部门瞬态光学研究室
2023-07-23
发表期刊光子学报
ISSN1004-4213
卷号52期号:7
产权排序1
摘要

针对硫化锌表面微纳米结构在中远红外波段7~10 μm的增透性能开展理论及实验研究。基于时域有限差分软件建立物理模型,理论研究微结构参数变化对减反性能产生的影响,依据红外光谱值分布图宏观展示微结构参数与透过率的关系。利用飞秒激光在空气环境中制备不同规格的微纳米结构阵列,通过实验实现了设计的结构。分别测试样品在中远红外波段7~10 μm范围内透过率,其中8 μm的网格结构在8.5~10 μm波段的平均透过率可提高4%,在10 μm波长处透过率提升7%。实验结果表明所制备的结构具有良好的抗反射性能。对比结果显示实验所示透过率变化趋势与仿真结果具有一致性。

关键词飞秒激光 时域有限差分法 增透性 抗反射微结构 硫化锌
DOI10.3788/gzxb20235207.0752308
收录类别EI ; CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:7549387
EI入藏号20233714721524
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96774
专题瞬态光学研究室
通讯作者李明
作者单位1.中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
2.中国科学院大学,北京 100049
3.西安交通大学 电子科学与工程学院,西安 710049
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
通讯作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
罗兴,李明,毛建勇. 硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备[J]. 光子学报,2023,52(7).
APA 罗兴,李明,&毛建勇.(2023).硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备.光子学报,52(7).
MLA 罗兴,et al."硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备".光子学报 52.7(2023).
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