| 一种用于单管芯片腔面和电极显微观察的固定装置 |
| 王贞福 ; 李特
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| 2021-07-27
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 实用新型
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于单管芯片腔面和电极显微观察的固定装置，解决现有固定装置易损伤芯片或固定不可靠的问题，并支持完整全面地检验单管芯片。该装置的固定基座具有台阶；台阶顶面设置有多个第一限位平底凹槽，用于平放容纳单管芯片并限制单管芯片在放置平面偏转；台阶竖立面设置有多个第二限位平底凹槽，用于竖放容纳单管芯片使单管芯片腔面朝上，并限制单管芯片在放置平面偏转，所述第二限位平底凹槽与台阶顶面相接形成相应的缺口；所述第一限位平底凹槽和第二限位平底凹槽的底面分别设置有至少一个吸附孔；所述固定基座的内部分别设置有两路真空通道，固定基座的侧面相应设置有两处真空通道接口。 |
| 授权日期 | 2021-07-27
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| 申请日期 | 2020-08-06
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| 专利号 | CN202021617096.3
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 申请号 | CN202021617096.3
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| IPC 分类号 | G01N21/95
; G01N21/01
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96754
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| 专题 | 瞬态光学研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
王贞福,李特. 一种用于单管芯片腔面和电极显微观察的固定装置. CN202021617096.3[P]. 2021-07-27.
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