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半导体激光器低热阻液冷热沉研究现状与展望
其他题名Research Status and Prospect of Low Thermal Resistance Liquid-cooled Heatsink Applied in Laser Diode
陈琅1; 刘嘉辰1,2; 张佳晨1; 王贞福1; 王丹1; 李特1
作者部门瞬态光学研究室
2023-05-25
发表期刊材料导报
ISSN1005-023X
卷号37期号:10
产权排序1
摘要

近年来,半导体激光器输出功率持续增加,引发热负载受限问题。热负载使芯片有源区产生温升,进一步影响芯片温度分布,导致半导体激光器(Laser diode, LD)芯片性能逐渐劣化。而对于确定的封装形式,热沉热阻成为控制温升的决定性因素。因此,降低热沉热阻对提升半导体激光器输出能力与光束性质具有重要意义。液冷热沉可以有效降低热阻,本文从液冷热沉材料、液冷热沉结构和液冷冷媒性质三个方面,回顾了近30年LD液冷热沉热阻演变进程,总结了液冷热沉发展过程中热阻的影响因素,进一步探讨了降低热阻的发展方向与应用前景。

关键词半导体激光器 液冷热沉 热阻 结构 材料 冷媒
DOI10.11896/cldb.21120232
收录类别EI ; CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:7478259
EI入藏号20232514277801
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96730
专题瞬态光学研究室
通讯作者李特
作者单位1.中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子国家重点实验室
2.中国科学院大学
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
通讯作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陈琅,刘嘉辰,张佳晨,等. 半导体激光器低热阻液冷热沉研究现状与展望[J]. 材料导报,2023,37(10).
APA 陈琅,刘嘉辰,张佳晨,王贞福,王丹,&李特.(2023).半导体激光器低热阻液冷热沉研究现状与展望.材料导报,37(10).
MLA 陈琅,et al."半导体激光器低热阻液冷热沉研究现状与展望".材料导报 37.10(2023).
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