射频/直流驱动大气压氩气介质阻挡放电的一维仿真研究

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	射频/直流驱动大气压氩气介质阻挡放电的一维仿真研究
其他题名	One-dimensional simulation of Ar dielectric barrier discharge driven by combined rf/dc sources at atmospheric pressure
	齐兵 1,2,3,4; 田晓 5; 王静1 ; 王屹山1,2 ; 司金海 3; 汤洁1,2
作者部门	瞬态光学研究室
	2022
发表期刊	物理学报
ISSN	1000-3290
卷号	71 期号:24
产权排序	1
摘要	采用一维自洽耦合流体模型理论研究了射频(rf)/直流(dc)驱动大气压氩气(Ar)介质阻挡放电特性,仿真得到了不同直流电压下,射频最小维持放电电压变化情况、周期平均电子密度平均值随周期平均气体电压平均值变化情况、电子产生率及电子密度的时空分布.分析表明:直流电压通过改变介质表面电荷密度来影响气隙电压,从而控制放电过程.直流电压较小时放电被抑制,直流电压较大时放电得以恢复.随着直流电压的增大,射频最小维持放电电压振幅随之呈现先增大后减小的变化趋势.另外,当射频电压振幅高于最小维持放电电压振幅时,射频电源驱动与射频/直流驱动时的气隙电压相同,射频电源控制放电.进一步发现在α模式下,随着直流电压的增大,鞘层逐渐形成,电子产生区域从接地电极附近转变为两侧鞘层和主等离子体区边界处;在γ模式下,当射频电压振幅高于最小维持放电电压振幅时,电子产生和分布不受直流电压影响.
关键词	射频直流介质阻挡放电流体模型
收录类别	SCI ; CSCD
语种	中文
WOS记录号	WOS:000970023300026
CSCD记录号	CSCD:7376912
引用统计	被引频次：1[WOS] [WOS记录] [WOS相关记录] 被引频次：1[CSCD] [CSCD记录]
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96430
专题	瞬态光学研究室
通讯作者	汤洁
作者单位	1.中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室 2.中国科学院大学 3.西安交通大学电子科学与工程学院陕西省信息光子技术重点实验室 4.西安科技大学理学院 5.西安航空学院理学院
第一作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
通讯作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	齐兵,田晓,王静,等. 射频/直流驱动大气压氩气介质阻挡放电的一维仿真研究[J]. 物理学报,2022,71(24).
APA	齐兵,田晓,王静,王屹山,司金海,&汤洁.(2022).射频/直流驱动大气压氩气介质阻挡放电的一维仿真研究.物理学报,71(24).
MLA	齐兵,et al."射频/直流驱动大气压氩气介质阻挡放电的一维仿真研究".物理学报 71.24(2022).

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射频_直流驱动大气压氩气介质阻挡放电的一（3346KB）	期刊论文	作者接受稿	限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文