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轨迹可控的大深径比倒锥微孔加工系统及应用
其他题名Large Depth-to-Diameter Ratio and Inverted Cone Micro-Hole Machining System with Controllable Trajectory and Its Application
王珊1,2; 赵卫1; 赵华龙1; 周峰3; 刘国强4; 杨小君4
作者部门光子制造系统与应用研究中心
2022-06
发表期刊激光与光电子学进展
ISSN1006-4125
卷号59期号:11
产权排序1
摘要

飞秒光纤激光器具有脉宽极短,瞬时功率高,对加工材料无选择性等特点,被广泛应用于精密微孔制造领域。为此,提出了一种高精度轨迹可调光束扫描系统,利用电机控制偏转光楔组和平行平板组相对于激光光轴的角度,再通过聚焦透镜缩小光斑,实现精准控制下飞秒激光的旋转扫描,解决了目前高深径比、倒锥孔加工困难的问题。将该系统应用于汽车喷油嘴油孔加工,实现了加工孔径的孔径为25~800μm,孔径误差≤±2μm;在锥度孔加工中可实现微孔锥度-5°~+5°;实现了深径比为20∶1的微孔加工。

关键词光学设计 飞秒激光加工 倒锥孔 高深径比 喷油嘴
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:7263120
引用统计
被引频次:2[CSCD]   [CSCD记录]
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96171
专题光子制造系统与应用研究中心
通讯作者赵华龙; 杨小君
作者单位1.中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室
2.中国科学院大学
3.中国一汽无锡油泵油嘴研究所
4.西安中科微精光子制造科技有限公司
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
通讯作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王珊,赵卫,赵华龙,等. 轨迹可控的大深径比倒锥微孔加工系统及应用[J]. 激光与光电子学进展,2022,59(11).
APA 王珊,赵卫,赵华龙,周峰,刘国强,&杨小君.(2022).轨迹可控的大深径比倒锥微孔加工系统及应用.激光与光电子学进展,59(11).
MLA 王珊,et al."轨迹可控的大深径比倒锥微孔加工系统及应用".激光与光电子学进展 59.11(2022).
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