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基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术
吴恩利1,2; 代守军1,2,3; 轩新想4; 何建国1,2,3; 刘洋1,2,3; 谭羽4; 貊泽强1,2,3; 余锦1,2
作者部门瞬态光学研究室
2022
发表期刊中国激光
ISSN0258-7025
卷号49期号:6
产权排序4
摘要

介绍了一种基于多脉冲模式的皮秒激光脉冲沉积方法,采用该方法在玻璃基底和单晶硅基底上沉积了透明导电氧化锌(ZnO)薄膜,使用光谱椭偏仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、分光光度计和四探针测试仪分析了激光的不同脉冲串模式对ZnO薄膜厚度、粗糙度、表面形貌、晶体结构、光学性能以及电学性能的影响。结果表明:沉积速率随着子脉冲串数量的增加而减小;随着子脉冲串数量的增加,薄膜表面粗糙度减小,颗粒尺寸减小,薄膜变得更加致密光滑;所有样品均呈现多晶结构;ZnO薄膜的透过率在可见光区域内高于92.95%,且禁带宽度在3.317~3.427eV范围内;薄膜电阻率随着子脉冲数量的增加而减小。相比于单脉冲,利用多脉冲沉积产生的薄膜具有更高的表面质量、更好的光学性能和更低的电阻率。 

关键词薄膜 脉冲激光沉积法 脉冲串模式 皮秒脉冲激光 氧化锌薄膜
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:7179465
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95994
专题瞬态光学研究室
通讯作者余锦
作者单位1.中国科学院空天信息创新研究院
2.中国科学院大学
3.中国科学院计算光学成像技术重点实验室
4.中国电子科技集团公司第三研究所
5.中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
吴恩利,代守军,轩新想,等. 基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术[J]. 中国激光,2022,49(6).
APA 吴恩利.,代守军.,轩新想.,何建国.,刘洋.,...&余锦.(2022).基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术.中国激光,49(6).
MLA 吴恩利,et al."基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术".中国激光 49.6(2022).
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