| 一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法 |
| 强鹏飞; 盛立志 ; 杨向辉; 闫永清; 刘哲; 李林森; 周晓红; 赵宝升
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| 2020-12-16
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2021-04-13
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本发明提供一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法，解决现有多束、大视场电子光学系统的像差性能无法满足要求的问题。该成像系统包括依次设置的电子源、加速电极阵列、单透镜和物镜；电子源用于发出多束电子，多束电子的电位从中心向外依次减小；加速电极阵列位于电子源下方，包括多个加速电极，用于对电子源出射的电子进行等能量加速；单透镜、物镜处于加速电极下方，将加速后的电子聚焦并以固定缩放比成像至靶面处。本发明系统中，出射的电子经加速电极加速后，外围电子因具有较大动能，从而能有效减少其在电子光学系统中的飞行时间，从而保证处于不同位置的电子受到空间电荷效应影响一致，保证大视场电子光学系统的低像差性能。 |
| 申请日期 | 2020-12-16
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| 专利号 | CN202011490623.3
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 申请中
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| 公开（公告）号 | CN112652510A
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| IPC 分类号 | H01J31/12
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95518
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| 专题 | 光电子学研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
强鹏飞,盛立志,杨向辉,等. 一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法. CN202011490623.3[P]. 2020-12-16.
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