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一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法
强鹏飞; 盛立志; 杨向辉; 闫永清; 刘哲; 李林森; 周晓红; 赵宝升
2020-12-16
Rights Holder中国科学院西安光学精密机械研究所
Date Available2021-04-13
Country中国
Subtype发明专利
Contribution Rank1
Abstract本发明提供一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法,解决现有多束、大视场电子光学系统的像差性能无法满足要求的问题。该成像系统包括依次设置的电子源、加速电极阵列、单透镜和物镜;电子源用于发出多束电子,多束电子的电位从中心向外依次减小;加速电极阵列位于电子源下方,包括多个加速电极,用于对电子源出射的电子进行等能量加速;单透镜、物镜处于加速电极下方,将加速后的电子聚焦并以固定缩放比成像至靶面处。本发明系统中,出射的电子经加速电极加速后,外围电子因具有较大动能,从而能有效减少其在电子光学系统中的飞行时间,从而保证处于不同位置的电子受到空间电荷效应影响一致,保证大视场电子光学系统的低像差性能。
Application Date2020-12-16
Patent NumberCN202011490623.3
Language中文
Status申请中
Open (Notice) NumberCN112652510A
IPC Classification NumberH01J31/12
Document Type专利
Identifierhttp://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95518
Collection光电子学研究室
Recommended Citation
GB/T 7714
强鹏飞,盛立志,杨向辉,等. 一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法. CN202011490623.3[P]. 2020-12-16.
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