| 一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置 |
| 李铭; 达争尚 ; 段亚轩; 陈永权; 李红光; 袁索超; 王璞
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| 2021-06-22
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2020-09-11
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本发明涉及高功率激光增透膜透过率测量技术，具体涉及一种高功率激光增透膜透过率测量方法，以解决现有的增透膜透过率测量精确度低的问题。本发明所采用的技术方案为；一种高功率激光增透膜透过率测量方法，首先，控制计算机控制激光光源设备输出准直光束；其次，通过干涉光路将准直光束分为两束光，并调节干涉光路，使两束光在探测系统中形成第一干涉条纹图像；再次，样品台将待测透射元件切入干涉光路中，在探测系统中形成第二干涉条纹图像；最后，控制计算机对第一干涉条纹图像和第二干涉条纹图像进行滤波去噪处理并计算增透膜透过率；本发明还提供了一种高功率激光增透膜透过率测量装置。 |
| 申请日期 | 2020-06-22
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| 专利号 | CN202010574555.2
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 公开（公告）号 | CN111650163B
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| IPC 分类号 | G01N21/59
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95390
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| 专题 | 先进光学仪器研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李铭,达争尚,段亚轩,等. 一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置. CN202010574555.2[P]. 2021-06-22.
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