| 一种高精度叠层光栅单元及制备方法 |
| 徐广州; 卢笛; 于基睿; 阮萍; 贺应红; 吕娟; 郭松; 杨建峰
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| 2021-10-15
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专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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公开日期 | 2020-09-11
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明专利
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产权排序 | 1
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摘要 | 本发明提供高精度叠层光栅单元及制备方法,解决现有光栅单元的光栅叠层精度较低,难以满足±3μm叠层精度要求的问题。其中光栅单元包括自上而下依次叠放的多个单片光栅,每个单片光栅上均设有2个矩形定位孔,单片光栅的定位孔重叠,矩形定位孔长度方向平行于单片光栅狭缝长度方向;2个矩形定位孔位于狭缝外围区域,并呈轴对称设置,对称轴经过单片光栅中心并与狭缝垂直。制备方法包括步骤:1)采用激光加工工艺对光栅片进行光栅狭缝加工,同时以与光栅狭缝相同加工工艺在光栅片上加工矩形定位孔;2)采用与步骤1)相同的工艺条件加工多个光栅片,获得多个单片光栅;3)以单片光栅的矩形定位孔为机械基准进行光栅叠层,获得光栅单元。 |
申请日期 | 2020-05-22
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专利号 | CN202010442233.2
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语种 | 中文
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专利状态 | 授权
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公开(公告)号 | CN111644754B
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IPC 分类号 | B23K26/38
; B23K26/382
; G01N23/00
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95351
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专题 | 月球与深空探测技术研究室
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
徐广州,卢笛,于基睿,等. 一种高精度叠层光栅单元及制备方法. CN202010442233.2[P]. 2021-10-15.
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