OPT OpenIR  > 月球与深空探测技术研究室
一种高精度叠层光栅单元及制备方法
徐广州; 卢笛; 于基睿; 阮萍; 贺应红; 吕娟; 郭松; 杨建峰
2021-10-15
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2020-09-11
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明提供高精度叠层光栅单元及制备方法,解决现有光栅单元的光栅叠层精度较低,难以满足±3μm叠层精度要求的问题。其中光栅单元包括自上而下依次叠放的多个单片光栅,每个单片光栅上均设有2个矩形定位孔,单片光栅的定位孔重叠,矩形定位孔长度方向平行于单片光栅狭缝长度方向;2个矩形定位孔位于狭缝外围区域,并呈轴对称设置,对称轴经过单片光栅中心并与狭缝垂直。制备方法包括步骤:1)采用激光加工工艺对光栅片进行光栅狭缝加工,同时以与光栅狭缝相同加工工艺在光栅片上加工矩形定位孔;2)采用与步骤1)相同的工艺条件加工多个光栅片,获得多个单片光栅;3)以单片光栅的矩形定位孔为机械基准进行光栅叠层,获得光栅单元。
申请日期2020-05-22
专利号CN202010442233.2
语种中文
专利状态授权
公开(公告)号CN111644754B
IPC 分类号B23K26/38 ; B23K26/382 ; G01N23/00
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95351
专题月球与深空探测技术研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
徐广州,卢笛,于基睿,等. 一种高精度叠层光栅单元及制备方法. CN202010442233.2[P]. 2021-10-15.
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一种高精度叠层光栅单元及制备方法.pdf(550KB)专利 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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