| 一种低温环境下光学元件面形测量装置及方法 |
| 鄂可伟; 赵建科 ; 周艳; 田留德; 王亚军; 薛勋; 李晶; 刘尚阔
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| 2021-09-14
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2021-09-14
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 为了解决现有的低温环境下光学元件面形的测试方法受限于干涉仪口径以及真空容器窗口玻璃变形会引入测试误差的技术问题，本发明提供了一种能够准确、可靠、便于操作的低温环境下光学元件面形测量装置及方法。光学元件面形测量装置包括波前传感器、平行光管、真空容器；平行光管上设有窗口玻璃，真空容器内设有温控罩，温控罩上设有液氮热沉；温控罩和液氮热沉共同向待测光学元件提供设计要求的低温环境；平行光管与真空容器密封连接，共同形成密封腔体；波前传感器位于真空容器外，其位置与平行光管上的窗口玻璃相对应；波前传感器既能输出光束，又能探测到从窗口玻璃出射的光束。本发明相比于传统干涉测量方法，抗气流和抗振动能力强。 |
| 申请日期 | 2020-07-22
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| 专利号 | CN202010710573.9
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 公开（公告）号 | CN111811430B
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| IPC 分类号 | G01B11/24
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95256
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| 专题 | 检测技术研究中心
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
鄂可伟,赵建科,周艳,等. 一种低温环境下光学元件面形测量装置及方法. CN202010710573.9[P]. 2021-09-14.
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