双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法及激光加工系统

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	双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法及激光加工系统
	李晨晨; 李明
	2021-05-18
专利权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期	2021-05-18
授权国家	中国
专利类型	发明专利
产权排序	1
摘要	本发明提供一种双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法及激光加工系统，解决现有激光加工设备中双摆轴激光加工头难以调节以及维护成本高的问题。该方法包括：步骤一、设置第一光阑和第二光阑；步骤二、设置聚焦镜和光束质量分析仪；步骤三、将第一光阑和第二光阑的孔径调至最大；步骤四、调节第一反射镜的俯仰位置，直至激光束在光束质量分析仪上形成的圆环形激光轨迹的半径小于设定值；步骤五、逐渐缩小第一光阑和第二光阑的孔径；步骤六、调节第一反射镜的水平位置，直至激光光斑中心与随着光阑孔径变化的光斑图案边沿同心，激光光束轴线与C轴轴线重合。该方法易于实现自动化，维护方便，适合激光加工设备中双摆轴激光束指向的高精度调节。
申请日期	2020-04-23
专利号	CN202010328143.0
语种	中文
专利状态	授权
公开（公告）号	CN111408836B
IPC 分类号	B23K26/046 ; B23K26/06 ; B23K26/064
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95216
专题	瞬态光学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	李晨晨,李明. 双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法及激光加工系统. CN202010328143.0[P]. 2021-05-18.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法及（381KB）	专利		限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文