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一种自转轮式末端抛光装置
姚永胜; 丁蛟腾; 沈乐; 赵蒙; 马臻; 范学武
2020-03-30
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2020-07-17
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明提供了一种自转轮式末端抛光装置,解决现有抛光装置易出现打滑;及抛光压力控制精度较低、对机床运行精度要求较高的问题。该装置包括法兰盘、力控单元、机架、电机、抛光轮、主传动轮及从传动轮,力控单元控制抛光压力,电机带动抛光轮旋转,实现光学元件材料去除。力控单元为输出端上下浮动式结构,不仅降低对运动执行机构的运动精度要求,还可实现高精度抛光压力控制。该抛光装置抛光压力控制精度高,去除函数稳定;去除函数接近高斯形,面形误差收敛快。
申请日期2020-03-30
专利号CN202010238713.7
语种中文
专利状态申请中
公开(公告)号CN111421423A
IPC 分类号B24B13/00 ; B24B47/12 ; B24B41/00 ; B24B41/02
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95199
专题先进光学元件试制中心
推荐引用方式
GB/T 7714
姚永胜,丁蛟腾,沈乐,等. 一种自转轮式末端抛光装置. CN202010238713.7[P]. 2020-03-30.
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