| 一种实体sagnac干涉仪的胶合方法 |
| 李思远; 刘欢 ; 赵强; 李立波; 白清兰; 邹纯博; 武俊强
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| 2021-05-18
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2021-05-18
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 为解决现有的实体sagnac干涉仪胶合方法，当胶合过程中较大胶合应力引起干涉仪反射面变形时，无法对干涉仪组件进行二次修复，造成干涉仪调制度降低，以及胶合过程装调复杂的技术问题，本发明提出了一种实体sagnac干涉仪的胶合方法，通过调整干涉仪工作面的镀膜次序，最后冷镀内反射膜，能够去除胶合过程对内反射膜的影响；采用二次固化，一次固化后可再进行剪切量及正交性调整；二次镀膜期间保持40℃左右的温度能够对干涉仪棱镜起到退火作用，消除部分胶合应力；通过在胶合过程中严格监控反射面垂直度，减少构成干涉仪的两个半五角棱镜的旋转及倾斜，尽可能减小胶合过程带来的胶合应力，实现实体sagnac干涉仪的去应力装调。 |
| 申请日期 | 2020-02-20
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| 专利号 | CN202010106805.X
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 公开（公告）号 | CN111308731B
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| IPC 分类号 | G02B27/62
; G02B7/18
; G02B1/10
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95155
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| 专题 | 光谱成像技术研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李思远,刘欢,赵强,等. 一种实体sagnac干涉仪的胶合方法. CN202010106805.X[P]. 2021-05-18.
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